Mehr Auswahl, mehr Möglichkeiten – entdecken Sie das gesamte Sortiment.
Aufdampfmaterialien & Sputtertargets
ChemPUR liefert hochreine Aufdampfmaterialien & Sputtertargets für Ihre PVD-Prozesse, Dünnschichttechnik und Forschung.
Für Forschung & Dünnschichttechnik
Präzision für anspruchsvolle Beschichtungen
Bei ChemPUR erhalten Sie hochreine Aufdampfmaterialien und Sputtertargets für Ihre Forschung, Entwicklung und industrielle Anwendungen. Unsere Materialien kommen in PVD-Prozessen, Dünnschichttechnologien, Halbleiterfertigung und Oberflächenanalytik zum Einsatz. Dank langjähriger Erfahrung in der Chemie- und Materialwissenschaft liefern wir spezifizierte Produkte inklusive fachkundiger Beratung.
Unser Service bei ChemPUR
Ob Aufdampfmaterialien oder Sputtertargets: Wir beraten Sie individuell für Ihre Anwendung.
Entdecken Sie unser gesamtes Produktspektrum
Finden Sie schnell die passende Lösung aus unserer Auswahl von über 4000 Metallen, Elementen und Spezialchemikalien.
Häufig gestellte Fragen
Unsere FAQ geben Ihnen einen schnellen Überblick zu wichtigen Themen rund um unser Sortiment. Bei weiteren Fragen stehen wir Ihnen selbstverständlich auch persönlich zur Verfügung.
Einkauf / Verkauf
Wir beraten Sie gerne individuell
Welche Aufdampfmaterialien bietet ChemPUR an?
ChemPUR bietet ein breit aufgestelltes Portfolio an Aufdampfmaterialien für die PVD-Dünnschichttechnik und Materialforschung. Der Fokus liegt auf der Vielfalt der Stoffklassen und deren gezielter Einsetzbarkeit in unterschiedlichen Anwendungen. Zum Sortiment zählen hochreine Reinmetalle wie Aluminium, Gold, Silber oder Kupfer ebenso wie Legierungen mit definierten Eigenschaften. Ergänzt wird das Portfolio durch nichtmetallische Verbindungen wie Oxide, Sulfide und Fluoride, die insbesondere für funktionale Schichten mit spezifischen optischen, elektrischen oder chemischen Eigenschaften eingesetzt werden.
Durch diese Bandbreite können unterschiedlichste Anforderungen abgedeckt werden – von leitfähigen Beschichtungen über Schutzschichten bis hin zu optischen Anwendungen. ChemPUR unterstützt dabei sowohl Standardprozesse als auch spezialisierte Forschungsanwendungen, bei denen exakt definierte Materialeigenschaften entscheidend sind. Ein besonderer Mehrwert liegt in der Möglichkeit, auch komplexe oder seltene Materialien in hoher Reinheit bereitzustellen. Damit schaffen wir die Grundlage für stabile Prozesse und reproduzierbare Ergebnisse in anspruchsvollen Dünnschichtanwendungen.
Welche Materialien eignen sich für PVD-Prozesse?
Für PVD-Prozesse eignen sich Materialien mit definierten physikalischen und chemischen Eigenschaften, primär hinsichtlich Verdampfbarkeit, Reinheit und Reaktivität. ChemPUR bietet eine breite Auswahl an Metallen, Legierungen und Verbindungen, die speziell für diese Anforderungen optimiert sind.
Metalle wie Aluminium, Titan, Chrom oder Gold werden häufig verwendet, da sie stabile und funktionale Schichten ermöglichen. Darüber hinaus kommen Oxide, Nitride oder andere Verbindungen zum Einsatz, wenn spezielle optische, elektrische oder mechanische Eigenschaften benötigt werden. Die Auswahl hängt stark von der jeweiligen Anwendung ab, beispielsweise in der Halbleitertechnik, Optik oder Oberflächenbeschichtung. Ein entscheidender Faktor ist die Materialreinheit, da selbst geringste Verunreinigungen die Schichtqualität beeinflussen können. Bei ChemPUR stellen wir sicher, dass alle Materialien unter streng kontrollierten Bedingungen produziert werden. Dadurch wird eine hohe Prozessstabilität erreicht, die insbesondere in Forschung und Hightech-Industrien unerlässlich ist.
In welchen Formen sind Aufdampfmaterialien erhältlich?
Aufdampfmaterialien von ChemPUR werden in verschiedenen physikalischen Formen bereitgestellt, um eine optimale Integration in unterschiedliche Verdampfungstechnologien zu ermöglichen. Dazu gehören Granulate, Späne (Chips), Tabletten (Pellets), Drähte und Pulver.
Der entscheidende Vorteil dieser Formvielfalt liegt in der Anpassung an das jeweilige Verdampfungsverfahren und die eingesetzte Anlagentechnik. Während kompakte Formen wie Tabletten oder Granulate eine kontrollierte und gleichmäßige Materialzufuhr unterstützen, ermöglichen feinere Strukturen wie Späne eine schnelle Verdampfung durch vergrößerte Oberfläche. Drähte eignen sich besonders für kontinuierliche Prozesse, bei denen Material gleichmäßig nachgeführt werden muss. Pulver wird vor allem in spezialisierten oder experimentellen Anwendungen eingesetzt.
Durch die gezielte Auswahl der Materialform lassen sich Prozessstabilität, Verdampfungsrate und Schichtqualität aktiv beeinflussen. ChemPUR bietet darüber hinaus individuelle Formate und kundenspezifische Anpassungen, um auch spezielle Anforderungen in Forschung und Industrie präzise umzusetzen.
Welche Sputtertargets sind verfügbar?
ChemPUR bietet ein breites Standardsortiment an Sputtertargets für Anwendungen in der PVD-Dünnschichttechnik. Verfügbar sind Targets aus metallischen Werkstoffen sowie aus Legierungen und keramischen Materialien. Darüber hinaus können auch Targets aus Oxiden, Carbiden, Nitriden oder Fluoriden bereitgestellt werden. Die Herstellung erfolgt je nach Materialanforderung entweder gießtechnisch oder pulvermetallurgisch, um optimale Materialeigenschaften und eine homogene Struktur zu gewährleisten. Dies ist entscheidend für stabile Abtragsraten und gleichmäßige Schichtqualität im Sputterprozess.
Standardtargets sind in verschiedenen Durchmessern, Dicken und Geometrien erhältlich und lassen sich in gängige Beschichtungsanlagen integrieren. Eine Übersicht der verfügbaren metallischen Targets ist in den Downloads einsehbar. Durch die Kombination aus hoher Materialreinheit, präziser Fertigung und breitem Werkstoffspektrum bieten wir Ihnen zuverlässige Lösungen für Forschung, Dünnschichttechnik und industrielle Beschichtungsprozesse.
Bietet ChemPUR kundenspezifische Targets an?
Ja, ChemPUR ist spezialisiert auf die kundenspezifische Fertigung von Sputtertargets und bietet maßgeschneiderte Lösungen für individuelle Prozessanforderungen. Neben dem Standardsortiment können Targets exakt nach Vorgaben hinsichtlich Zusammensetzung, Reinheit, Geometrie und Abmessung entwickelt werden. Die Targetgeometrie ist flexibel anpassbar, wobei – abhängig vom Material – Durchmesser bis zu 200 mm realisierbar sind. Dies ermöglicht die passgenaue Integration in bestehende Anlagen und spezifische Beschichtungsprozesse.
Zusätzlich bieten wir Ihnen weiterführende Leistungen wie das metallische Bonden sowie die Fertigung passender Rückplatten (Backplates) an. Dadurch erhalten Sie komplette, einsatzbereite Targetsysteme aus einer Hand. Durch die enge Abstimmung mit Ihnen und unsere umfassende Expertise in der Materialverarbeitung entstehen Lösungen, die exakt auf Prozessparameter abgestimmt sind und eine hohe Prozessstabilität sowie reproduzierbare Ergebnisse ermöglichen.
Gibt es Bonding und Backplates aus einer Hand?
ChemPUR bietet neben Sputtertargets auch passende Bonding-Services und Backplates an, sodass Kunden alle relevanten Komponenten aus einer Hand erhalten. Dies vereinfacht die Beschaffung und stellt sicher, dass alle Elemente optimal aufeinander abgestimmt sind. Beim Bonding wird das Targetmaterial sicher mit einer Trägerplatte verbunden, um eine stabile Nutzung im Sputterprozess zu gewährleisten. Die Auswahl geeigneter Backplates und Bondingverfahren ist entscheidend für die Wärmeableitung und mechanische Stabilität während des Betriebs.
Unsere Lösungen sind so ausgelegt, dass sie eine lange Lebensdauer und gleichmäßige Prozessbedingungen ermöglichen. Kunden profitieren von einer zuverlässigen Integration in bestehende Anlagen sowie von einer Reduzierung von Ausfallzeiten. Durch die Kombination aus Materialkompetenz und technischer Umsetzung bietet ChemPUR einen echten Mehrwert für anspruchsvolle Anwendungen, beispielsweise in der Halbleiterfertigung, der optischen Beschichtung (z. B. Spiegel und Filter), der Sensorik oder in der Forschung und Entwicklung von Dünnschichtsystemen.
Für welche Anwendungen sind die Materialien geeignet?
Die Aufdampfmaterialien und Sputtertargets von ChemPUR kommen in einer Vielzahl von Anwendungen zum Einsatz, insbesondere in Forschung, Entwicklung und Hightech-Industrien. Dazu zählen Dünnschichtbeschichtungen in der Mikroelektronik, optische Anwendungen, Sensorik sowie Oberflächenveredelung.
In der Halbleiterindustrie werden diese Materialien verwendet, um funktionale Schichten mit definierten elektrischen Eigenschaften zu erzeugen. In der Optik dienen sie zur Herstellung von Spiegeln, Filtern oder Beschichtungen mit spezifischen Lichtdurchlässigkeiten. Auch in der Analytik und Materialforschung spielen sie eine zentrale Rolle. Dank ihrer hohen Reinheit und präzisen Spezifikation ermöglichen unsere Materialien reproduzierbare Ergebnisse und stabile Prozesse. Dies ist besonders wichtig für Labore und Forschungseinrichtungen, die auf zuverlässige und exakte Ergebnisse angewiesen sind. ChemPUR unterstützt diese Anwendungen mit maßgeschneiderten Lösungen und fundierter Expertise.
